操作
微桥式质量气流传感器是以传热理论为基础的。质量气流穿过感测元件的表面。输出电压随质量空气或其他气体通过封装的入口和出口而变化。特别设计的外壳精确地引导和控制气流穿过微结构传感元件。该封装的机械设计使其易于安装在印刷电路板上。
微桥质量气流传感器是一种基于先进微结构技术的独特的硅片。它包括一个薄膜，热隔离桥结构，包括加热器和温度传感元件.该桥结构对芯片上的空气或其他气体的流动提供了灵敏和快速的响应。位于中央加热元件两侧的双传感元件指示流动方向和流量。激光微调厚膜和薄膜电阻提供了一致的互换性从一个设备到下一个。
微桥质量气流传感器使用沉积在氮化硅薄膜中的温敏电阻。它们以两座桥的形式悬挂在硅的蚀刻腔上。芯片位于精确尺寸的气流通道中，以提供可重复的流动响应。通过刻蚀流量传感器桥下的空腔空间，实现了加热器和传感电阻的高效热隔离。微型桥式质量气流传感器的小尺寸和热隔离特性使其具有极快的响应速度和对流动的高度敏感性。
双Wheatstone桥控制气流测量-一个提供闭环加热器控制，另一个包含双传感元件。加热器电路通过提供与质量流量成比例的输出，使环境温度变化引起的漂移最小化。该电路将加热器温度保持在高于环境温度的恒定温差(160°C)，该温差由芯片上的热沉电阻感测。该器件的比率电压输出对应于横跨Wheatstone桥电路的差动电压。
通知
粉尘污染的影响是可以减少的，这可能是由于某些应用而产生的。通过设计，可能存在于气流中的尘埃粒子将平行于芯片表面流过芯片。此外，微结构芯片产生了一种散热效应，使微米大小的尘埃颗粒远离桥结构。
一个简单的过滤器将防止灰尘粘附在芯片边缘和沟道表面。在大多数应用中，充分的过滤可以通过在气流装置的上游侧串联使用的一次性5微米过滤器来实现。
警告：产品损坏
AWM系列微桥式质量气流传感器的设计不是为了检测液体的流动，而是通过传感器的液体流动而损坏的。
不遵守这些指示可能导致产品损坏。
